マイクロマニピュレータ AMS-1000
小部品を、数グラムで把持・μmの位置決めが可能。
精密対象動作を保証
精密対象動作を保証
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●研究及び小ロット精密組立作業用に最適。各種モジュールの取り付けが可能。
●独自開発の小型XYZステージにより顕微鏡周辺での作業性が格段にアップ。 占有容積が、従来の1/8以下を実現。（ガイドレール同スパン品と比較） ●独自開発のモノコック式高剛性軽量の顕微鏡ベースにより軽量・卓上型サイズで移設が簡単。 ●豊富なオプションを準備しております。ご相談ください。  [AMS-1000.pdf/1.7MB] カタログを見る
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チップソーター ACT-1000
把持ピックアップ方式による新型チップソーター（コレット交換不用）
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●マイクロハンドによる表面非接触ピックアップ機構がワークに与えるダメージを軽減
●ウェハーtoトレイ、トレイtoトレイのチップ移載に対応 ●8インチウェハー対応で巾600ｍｍの超コンパクト設計 ●高速画像処理による高精度な自動アライメント機能搭載 ●マッピングデータ対応 [ACT-1000.pdf/690KB]カタログを見る
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チップ自動外観検査装置 AAV-1000 NEW !
顕微鏡検査の自動化を身近なものに！
デスクトップサイズに本格検査機能を集約した画像処理検査装置
デスクトップサイズに本格検査機能を集約した画像処理検査装置
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●ミクロン精度の作業が可能な高剛性プラットホームと顕微鏡レベルの 画像検査装置の合体により欠陥を高精度に検出します ●オートフォーカス機能で高低差のあるワークも瞬時に最適な画像を取得 ●自動作成されたマップデータは弊社チップソータと連携 ●判定後のOK・NGの見直し機能搭載 [AAV-1000.pdf/1MB]カタログを見る
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チップ外観検査装置 AVS-1000
顕微鏡目視検査作業の合理化と品質向上に
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●本体SWにてのOK/NG入力により、ワーク配置に対応したマッピングデータを作成(作業者は、 メイン画面に集中！操作はテンキー入力のみ！！) ●不良率集計・画像記録・簡易計測・チップ内複数検査・ＮＧ箇所見出し 等の充実した機能を標準装備 ●各種データ処理ソフトのカスタマイズ対応可能 ●バッドマーキング機能、NG品除去機能搭載可能(オプション) [AVS-1000.pdf/1.4MB]カタログを見る
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デスクトップ高精度搭載装置 AAS-1000
世界最小クラスの高機能、高精度、高剛性自動組立装置
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●当社マニピュレータシステムの自動機バージョン
●フローティング付マニピュレータハンドの開発で微小脆弱ワークに対応 ●自社開発小型ステージ搭載、12軸ドライバーとコントローラー内蔵の超コンパクト設計 ●独自ＧＵＩ技術でレシピ設定作業の簡略化を実現 ●高機能画像処理による高精度な自動アライメント機能搭載 [AAS-1000.pdf/980KB]カタログを見る |
小型3軸ゴニオステージ AGS 3 シリーズ
小型、高剛性3軸一体ゴニオステージ（モータ込み体積比 他社の1/8）
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●圧倒的回転中心精度を実現（他社の数十分の一）
●各軸独立動作可能（パルスモーター駆動） ●部品交換でワークディスタンスの変更が可能 ●出っ張りの無いスクエアデザイン ●3方向取り付け可能 ●手動タイプ、2軸タイプ（θX、θY）の用意 [AGS3.pdf/570KB]カタログを見る
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