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マイクロマニピュレータ AMS-1000
小部品を、数グラムで把持・μmの位置決めが可能。
精密対象動作を保証
  研究及び小ロット精密組立作業用に最適。各種モジュールの取り付けが可能。

独自開発の小型XYZステージにより顕微鏡周辺での作業性が格段にアップ。
 占有容積が、従来の1/8以下を実現。(ガイドレール同スパン品と比較)

独自開発のモノコック式高剛性軽量の顕微鏡ベースにより軽量・卓上型サイズで移設が簡単。

豊富なオプションを準備しております。ご相談ください。


[AMS-1000.pdf/1.5MB] カタログを見る

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チップソーター ACT-1000
把持ピックアップ方式による新型チップソーター(コレット交換不用)
  マイクロハンドによる表面非接触ピックアップ機構がワークに与えるダメージを軽減

ウェハーtoトレイ、トレイtoトレイのチップ移載に対応

8インチウェハー対応で巾600mmの超コンパクト設計

高速画像処理による高精度な自動アライメント機能搭載

マッピングデータ対応


[ACT-1000.pdf/240KB]カタログを見る

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小型3軸ゴニオステージ AGS 3 シリーズ
小型、高剛性3軸一体ゴニオステージ(モータ込み体積比 他社の1/8)
  圧倒的回転中心精度を実現(他社の数十分の一)

各軸独立動作可能(パルスモーター駆動)

部品交換でワークディスタンスの変更が可能

出っ張りの無いスクエアデザイン

3方向取り付け可能

手動タイプ、2軸タイプ(θX、θY)の用意


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デスクトップ高精度搭載装置 AAS-1000
世界最小クラスの高機能、高精度、高剛性自動組立装置
  当社マニピュレータシステムの自動機バージョン

フローティング付マニピュレータハンドの開発で微小脆弱ワークに対応

自社開発小型ステージ搭載、12軸ドライバーとコントローラー内蔵の超コンパクト設計

独自GUI技術でレシピ設定作業の簡略化を実現

高機能画像処理による高精度な自動アライメント機能搭載


[AAS-1000.pdf/383KB]カタログを見る



チップ外観検査装置 AVS-1000
顕微鏡目視検査作業の合理化と品質向上に
  本体SWにてのOK/NG入力により、ワーク配置に対応したマッピングデータを作成(作業者は、
 メイン画面に集中!操作はテンキー入力のみ!!)


不良率集計・画像記録・簡易計測・チップ内複数検査・NG箇所見出し
 等の充実した機能を標準装備

各種データ処理ソフトのカスタマイズ対応可能

バッドマーキング機能、NG品除去機能搭載可能(オプション)


[AVS-1000.pdf/546KB]カタログを見る

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