★フォトリソ総合パンフレット★
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小型エッチング装置 AEP-3000D
基板をスピンさせながら精度良く、
スプレーエッチング、リンスを連続工程で実施
スプレーエッチング、リンスを連続工程で実施
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●マルチ対応のメニュー選択式プログラムにより簡単操作、シーケンス変更も任意に設定可能。
●基板サイズ 最小：５mm(丸型・角型)最大：１５０mm(丸型) 最大：１５０mm(丸型) １００mm×１００mm(角型) [AEP_series.pdf/69KB]カタログを見る |
小型エッチング装置 AEP-3000S
外装に硬質塩ビを採用したことにより、防錆効果が向上
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●処理部と電装部を別体とすることにより、腐食等による粉塵の発生を抑えクリーンな環境を保持。
●耐薬品性の高いPTFE製一体成型チャンバーを採用｡ ●エッチング→リンス→振切りを任意に設定したプログラムにより、連続処理が可能｡ ●プログラムは最大９９ステップ×５０パターン保存可能｡ ●お客様の仕様にあわせてカスタマイズ可能。 [AEP_series.pdf/69KB]カタログを見る |
セミオートエッチング装置 ATE-3000
エッチング→リンス→振切りを任意に設定したプログラムにより、
連続処理が可能
連続処理が可能
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●基板のセットは専用アームに載せるだけ。
●作業者は処理チャンバー内に手を入れないので安全。 ●処理状態が目視できる透明PVC製チャンバー採用。 ●プログラムは最大９９ステップ×５０パターン保存可能。 ●お客様の仕様にあわせてカスタマイズ可能。 [AEP_series.pdf/69KB]カタログを見る |
自動現像/エッチング装置 AEA-3000
処理状態が目視できる透明PVC製チャンバー採用
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●エッチング→リンス→振切りを任意に設定したプログラムにより、連続処理が可能。
●プログラムは最大９９ステップ×５０パターン保存可能。 ●お客様の仕様にあわせてカスタマイズ可能。 [AEA3000.pdf/621KB]カタログを見る |
小型現像装置 ADE-3000S
マルチステップ対応スプレーデベロッパー
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●パドル現像対応
●各種カスタム仕様対応 ●基板サイズ 最大：～φ８インチ [ADE3000S.pdf/56KB]カタログを見る |
スピンナー ASC-4000(W)
瞬時最大トルクの増大により、加速時間の大幅な短縮、応答性が向上
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●ACサーボモーターを採用することにより安定した回転と発塵が低減。
●マルチステップ対応。テンキーにより,簡単確実、且つスピーディーに入力が可能。 ●基板サイズ 最大：１５０mm(丸型) １００mm×１００mm(角型) Ｗタイプはφ８インチ対応 [ASC4000.pdf/53KB]カタログを見る |
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