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小型エッチング装置 AEP-3000D
基板をスピンさせながら精度良く、
スプレーエッチング、リンスを連続工程で実施
  マルチ対応のメニュー選択式プログラムにより簡単操作、シーケンス変更も任意に設定可能。

基板サイズ
 最小:5mm(丸型・角型)最大:150mm(丸型)
 最大:150mm(丸型) 100mm×100mm(角型)


[AEP_series.pdf/69KB]カタログを見る



小型エッチング装置 AEP-3000S
外装に硬質塩ビを採用したことにより、防錆効果が向上
  処理部と電装部を別体とすることにより、腐食等による粉塵の発生を抑えクリーンな環境を保持。

耐薬品性の高いPTFE製一体成型チャンバーを採用。

エッチング→リンス→振切りを任意に設定したプログラムにより、連続処理が可能。

プログラムは最大99ステップ×50パターン保存可能。

お客様の仕様にあわせてカスタマイズ可能。


[AEP_series.pdf/69KB]カタログを見る



セミオートエッチング装置 ATE-3000
エッチング→リンス→振切りを任意に設定したプログラムにより、
連続処理が可能
  基板のセットは専用アームに載せるだけ。

作業者は処理チャンバー内に手を入れないので安全。

処理状態が目視できる透明PVC製チャンバー採用。

プログラムは最大99ステップ×50パターン保存可能。

お客様の仕様にあわせてカスタマイズ可能。


[AEP_series.pdf/69KB]カタログを見る



自動現像/エッチング装置 AEA-3000
処理状態が目視できる透明PVC製チャンバー採用
  エッチング→リンス→振切りを任意に設定したプログラムにより、連続処理が可能。

プログラムは最大99ステップ×50パターン保存可能。

お客様の仕様にあわせてカスタマイズ可能。


[AEA3000.pdf/621KB]カタログを見る



小型現像装置 ADE-3000S
マルチステップ対応スプレーデベロッパー
  パドル現像対応

各種カスタム仕様対応

基板サイズ
 最大:~φ8インチ


[ADE3000S.pdf/56KB]カタログを見る



スピンナー ASC-4000(W)
瞬時最大トルクの増大により、加速時間の大幅な短縮、応答性が向上
  ACサーボモーターを採用することにより安定した回転と発塵が低減。

マルチステップ対応。テンキーにより,簡単確実、且つスピーディーに入力が可能。

基板サイズ
 最大:150mm(丸型) 100mm×100mm(角型)
 Wタイプはφ8インチ対応


[ASC4000.pdf/53KB]カタログを見る
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